X向雙直線電機同步驅動
全花崗巖結構
空氣軸承整體優化設計
、高光柵反饋裝置
技術指標
設計行程:250mmX250mm
系統分辨率:0.1或0.05微米
重復定位:0.5微米
運行速度:800mm/s
運行加速度:1.5G
負載能力:3Kg
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86-10-51734876

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