功能調系列調阻機
設備特點
?定制化：可針對客戶產品不同的激光調阻應用要求，提供具有較高價值的產品解決方案。
?調阻高：的測控技術，測量控制系統的一致性好，產品附加值；成品率高，單位成本下降。
?軟件可編程：可輕松實現客戶的不同需求以及高自動化運行，也可作為專門的測試平臺，適應性廣。
?使用成本低：采用了的激光器，無耗材，使用成本，長期使用節約大量的費用。
?多功能：可實現陶瓷基片的激光劃線、打標，減少設備的再投入。
?大理石基座，可減小工作臺啟動、停止和加速過程中產生的震動，同時保持機臺溫度的穩定性，性高。
主要技術參數
激光系統 | 型號規格 | LT |
激光波長 | 1064nm | |
激光功率 | 10W | |
典型光斑尺寸 | 35±5μm | |
對焦方式 | 自動，計算機程序控制 | |
冷卻方式 | 風冷 | |
激光束定位系統 | 激光束運動范圍 | 60mm X 60mm |
運動分辨率 | 0.76μm | |
重復定位 | ±5μm | |
分步重復運動系統 | 運動方式 | 精密閉環XY平臺 |
運動范圍 | 300mm*300mm | |
重復定位 | ±10μm | |
運動速度（空載） | 180mm/s | |
測量系統 | 電阻測量方式 | 四線制測量或二線制測量 |
電阻測量 | 中阻0.05% | |
電阻測量范圍 | 0.1Ω-100MΩ | |
測量速度 | 25μs/次 | |
點及滿程誤差校正 | 自動校正 | |
探針定義 | 可編程任意設定 | |
探針板運動 | 自動，計算機程序控制 |
