Aera Transformer 數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC）和質(zhì)量流量計（MFM）適用于多種不同的應(yīng)用，包括CVD、PVD、擴散和刻蝕等等，將改變您的工藝，提供靈和效率，從而帶來更多的產(chǎn)量、更高的生產(chǎn)率，和更低的成本。的傳感器和閥技術(shù)，經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用驗證的平臺組件以及的數(shù)字線路帶來當(dāng)今精準(zhǔn)的氣體流量控制。憑借的性和出色的反應(yīng)、性和可重復(fù)性，這一系列的產(chǎn)品包括單氣體和多氣體、多量程的MFC以滿足您在數(shù)值和功能上的要求。
Advanced Energy 的Aera FC-PA780系列質(zhì)量流量控制器是更新、更低造價、更適于多種流量范圍、多種氣體的數(shù)字型MFC。它可應(yīng)用在CVD,PVD,ALD和蝕刻工藝中。該產(chǎn)品有新設(shè)計的測量裝置和閥門，其他原件與已使用證實的FC-D980,FC-7800相同。FC-PA780系列為設(shè)定值的1%，流量為滿量程的25%，點漂移小于0.5%。新的測量裝置改進了度，性，和熱反應(yīng)性，而新的閥門與壓電型閥有同樣快的速度（小于1秒）。為便于在各種控制系統(tǒng)上工作，FC-PA780可進行模擬和數(shù)字型控制，并與RS-485和DeviceNet兼容。數(shù)控性能包括自動回，報警，流量漸升，總流量統(tǒng)計，氣流監(jiān)控，和數(shù)據(jù)收集。作為一個選擇項，MFC的數(shù)字型 數(shù)據(jù)采集裝置可連接使用。
優(yōu)點：
>出色的性能（性、可重復(fù)性和穩(wěn)定性）
>的性
>的通信與控制
>易于整合
>簡單，通用性
>大幅節(jié)約成本
>的服務(wù)和支持
特性
>多氣體、多量程選擇
>反應(yīng)（小于1秒）
>全金屬密封和純設(shè)計
>可現(xiàn)場編程
>無限氣體選擇，無需重新校準(zhǔn)
>DeviceNet、RS-485或0~5Vdc模擬控制
>多警報和診斷功能
