一、ZX-12ZGL型分子泵管式爐真空泵選型及技術(shù)參數(shù)

01 爐體尺寸 φ100×600
02 極限真空度 ＜8.0×10-4pa
＜6.0×10-6torr 無爐膽空載狀態(tài)
03 機(jī)組使用真空度 ＜1.0×10-3pa
＜7.5×10-6torr
04 機(jī)組有效抽速 600L/S 分子泵
05 前級(jí)泵抽速 6L/S TRP-24
06 抽氣口法蘭 LF160
07 啟動(dòng)時(shí)間 小于8min
08 到達(dá)使用真空度所需時(shí)間 ≤2h
09 冷卻方式 水冷 水溫＜25℃
10 總功率 約3kw
11 電 源 220V/380V 50HZ
二、真空系統(tǒng)說明
1、真空系統(tǒng)為分子泵機(jī)組：即為分子泵+旋片泵,FF160+TRP-24；由分子泵、旋片真空泵、充氣閥、高真空檔板閥（主閥）、高真空檔板閥（預(yù)抽閥）、高真空檔板閥（出口閥）、前級(jí)管路充氣閥、連接管路、密封圈、復(fù)合真空計(jì)及配電柜等組成的抽氣系統(tǒng)。
2、本機(jī)組不適宜抽除對(duì)金屬有腐蝕作用和對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的氣體。它可作為真空冶煉、真空燒結(jié)、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、太空模擬實(shí)驗(yàn)裝置等高科技設(shè)備的高真空獲得裝置。工作環(huán)境溫度5~40℃，相對(duì)濕度不大于85%，冷卻水溫度25℃+5℃。
3、真空度與真空泵的抽氣能力、艙室的密封性以及艙室內(nèi)部材料（爐體內(nèi)壁、實(shí)驗(yàn)器件、熱沉等）的放氣量有關(guān)，本機(jī)組的極限壓力為5.0×10-4pa（3.75×10-6torr）,帶空爐體無負(fù)載極限壓力為8.0×10-4pa（6.0×10-6torr），實(shí)際加溫時(shí)的使用壓力為1.0×10-3pa（7.5×10-6torr），抽氣時(shí)間約為2小時(shí)。
4、分子泵不能單獨(dú)形成抽氣，必須由前級(jí)泵將系統(tǒng)壓力降低至擴(kuò)散泵要求啟動(dòng)的壓力之內(nèi)，一般為≤10pa（7.5×10-2torr），本機(jī)組前級(jí)采用旋片TRP-24。
5、為了防止前級(jí)泵中的真空油在停泵時(shí)返流入擴(kuò)散泵泵腔內(nèi)，必須在前級(jí)真空的進(jìn)氣口配電磁閥，在停泵時(shí)自動(dòng)將系統(tǒng)管路隔離。
6、閥門均采用氣動(dòng)動(dòng)方式，操作方便。
7、在開始抽氣時(shí) ,此系統(tǒng)中設(shè)置有預(yù)抽管路,被抽氣體不經(jīng)過分子泵而由前級(jí)泵直接抽出,這樣做可避免被抽容器中氣體對(duì)擴(kuò)散泵的污染（水分、揮發(fā)物、雜質(zhì)），待被抽容器壓力降低至10pa（7.5×10-2torr）時(shí),關(guān)閉預(yù)抽閥、開啟擋板閥,分子泵開始對(duì)被抽容器開始正常抽氣。
三、主要技術(shù)參數(shù)：
指 標(biāo) 值
設(shè)計(jì)功率 12KW
額定電壓 380V
設(shè)計(jì)溫度1200℃
工作溫度 1100℃
升溫速率 ≤0.1-15 ℃/min （自由調(diào)節(jié)）
加熱區(qū) 600mm
恒溫區(qū) 400mm
控溫區(qū) 1區(qū)
爐管材質(zhì) 高純石英管
爐管直徑 Φ100mm
控溫 ±1℃
控溫方式 可控硅移相調(diào)壓+智能PID調(diào)節(jié)+程序升降溫
熱電偶型號(hào) S型 雙鉑銠
加熱元件 U型硅碳棒
重量 約240Kg
爐膛材料 氧化鋁纖維
爐殼表面溫度 ≤42℃
密封方式 雙硅橡膠圈，不銹鋼金屬法蘭
隨機(jī)附件 硅碳棒2支、O型硅橡膠圈4個(gè)、隔熱塞4個(gè)、不銹鋼鉤1把、耐火手套1雙、高溫手套1副