質量流量控制器 型號:D07-23FM 質量流量控制器 型號:D07-23FM

D07-23FM 流量計與 D07-23F 型控制器相比，在結構的不同點就是少了電磁調節閥，

其它部基本相同！

質量流量計 (Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質量流量進行測量；質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、和真空等多種領域的科研和中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 電子工

藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它析儀器。

D07 系列質量流量控制器和質量流量計具有高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定、工作壓力范寬等特點(可以在高壓或真空條件工作), 采用準接頭, 其操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現自動控制。

D07-23F 型質量流量控制器和質量流量計均為 24V 單電源供電，一般與我公司 D08-1K型流量顯示儀配使用

主要技術指

表 1. D07-23F 型 MFC 性能指

編號 項 目 D07-23F 型

1 流量規格 0~20,30,50,100,150,200,250 LM

2 流量控制范 2~ of F..

3 準確度 ±1.5% F..

4 線性 ±1% F..

5 重復 ±0.2% F..

6 響應時間 ≤ 3sec

7 工作壓差范

20,30 LM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid)

50~150 LM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid)

200,250 LM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)

8 大工作壓力 1 MPa (145psig)

9 耐壓 3 MPa (435.1 psig)

10 溫度系數 Zero: ≤ ± 0.1% F.. /℃; pan: ≤ ± 0.2% F.. /℃;

11 工作環境溫度 5℃ ~ 45℃

12 輸入信號 4~20 mA 或 1~5 VDC

13 輸出信號 4~20 mA 或 1~5 VDC

14 電源 24VDC 400 mA

15 外形尺寸

16 重量 2.6 kg

D07-23FM 型性能指

編號 項 目 D07-23FM 型

1 流量規格 0~20,30,50,100,150,200,250 LM

2 流量控制范 2~ of F..

3 準確度 ±1.5 % F..

4 線性 ±1 % F..

5 重復 ±0.2 % F..

6 響應時間 ≤3 sec

7

工作壓差范

20~100LM:<0.02 MPa (2.9 psid)

>100LM:<0.05 MPa (7.3 psid)

8 大工作壓力 1 MPa (145psig)

9 耐壓 3 MPa (435.1 psig)

10 溫度系數 Zero: ≤ ± 0.1% F.. /℃; pan: ≤ ± 0.2% F.. /℃;

11 工作環境溫度 5 ℃ ~ 45 ℃

12 輸入信號 4~20 mA 或 1~5 VDC

13 輸出信號 4~20 mA 或 1~5 VDC

14 電源 24 VDC 100 mA

15 外形尺寸

16 重量 1.5 kg