勻膠機 Spin Coater 品牌:MIDAS MIDAS為勻膠機(又稱為旋涂儀、甩膠機、Spin Coater等)的國際品牌，目前用戶超過1800臺，在高校、研究所及半導體產業享有很高的聲譽，是行業。 技術規格：
| 項目 Item | 技術規格 Specification |
| 時間 Time | 1~999秒，可調節 |
| 基底尺寸 Substrate Size | ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸 |
| 卡盤旋轉速度 Chuck Rotation Speed | 300~8000 rpm，直流伺服馬達/交流伺服馬達 |
| 勻膠狀態 Spin State | 50步，20個方案控制(數字程序編輯) |
| 碗腔尺寸 Bowl Size | 8英寸，鋁(經陽極氧化工藝)/12英寸，SUS |
| 增/減速率 Accele/deceleration Rates | 可調節 |
| 真空卡盤 Vacuum Chuck | 鋁(陽極氧化)，乙縮醛(Acetal) |
| 電源 Electrical Power | 220V, 5A |
| 無油真空壓力泵 Oilless Vacuum Pump | - 650 mmHg |
| 尺寸(mm) Dimension | 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280 |
