一、簡介
磁力顯微鏡(MFM)是原子力顯微鏡派生出來的一系列力顯微鏡之一，是基于原子力顯微鏡的二次成像技術(shù)，即抬起模式，所不同的是磁力顯微鏡使用磁性探針。磁力顯微鏡(MFM)采用磁性探針對樣品表面掃描檢測，該工作模式分兩個階段,階段與普通原子力顯微鏡形貌成像一樣，在探針與樣品間距1nm以內(nèi)成像，采用輕敲模式，得到樣品表面高低起伏的形貌像并記錄下來；
然后，將探針抬起并一直保持一定的高度(通常為10～200nm)，進行第二次掃描，該掃描過程可以對一些相對微弱但作用程較長的作用力進行檢測，如磁力和靜電力。當振動的針尖接近磁性樣品時，針尖與樣品所產(chǎn)生的漏磁場（或者說樣品中的磁疇結(jié)構(gòu)）相互作用而感受到磁力，使得微懸臂的共振頻率或彎曲程度發(fā)生變化，從而改變其振幅和相位。振蕩微懸臂的相位角及對應的微懸臂壓電驅(qū)動器信號，同時被EEM（extender electronics module）記錄，它們之間的差值變化用來表征樣品的磁結(jié)構(gòu)。
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上海卓倫微納米設(shè)備有限公司
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