儀器用途及特點(diǎn):
該系列大行程全自動影像儀用用龍門式結(jié)構(gòu)(橋架式)運(yùn)行性能穩(wěn)定,且機(jī)構(gòu)穩(wěn)定不變形。X，Y，Z三軸均采用伺服電機(jī)，全采用雙重閉環(huán)運(yùn)動控制，可電機(jī)在中，動動時的穩(wěn)定性，和準(zhǔn)確的定位功能，影像Z軸可自動對焦，配合美國Nitar自動變焦鏡頭，可實現(xiàn) 自動變焦而不需倍率校正。目前主要運(yùn)用在PCB線路板，覆銅板，平板玻璃，液晶模組，刀模，級材料等。
| 儀器型號 | VMS5030汽浮 | VMS6040汽浮 | MV6060CNC | |
| 工作臺 | 金屬臺面尺寸（mm） | 760X640 | 730X530 | 720X720 |
| 玻璃臺面尺寸（mm） | 550X350 | 650X450 | 650X650 | |
| 運(yùn)動行程（mm） | 500X300 | 600X400 | 600X600 | |
| Z軸升降行程：200mm 工作距離：92mm X、Y、Z數(shù)顯解析度:0.0005mm X、Y座標(biāo)示值誤差:≤(7+L/200)μm | ||||
| 影像系統(tǒng) |
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| 測量系統(tǒng) | Mclns全自動測量軟件 |
