特點:
采用壓電陶瓷驅動;
納米級位移分辨率;
重復定位高;
優(yōu)良的頻率響應特性;
采用計算機有限元分析等現代設計方法設計微動結構;
可內置微位移傳感器;
機體材料鋁合金;
采用電火花、線切割等加工工藝,以嚴格加工;
采用的表面處理工藝,了適應不同工作環(huán)境的能力。
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