1、糾偏系統:<=0.1mm
2、糾偏響應時間:4ms
3、糾偏速度:0–50mm/s
4、糾偏推力:300kg
5、糾偏系統AWG3000和AWG5000支持以太網。
6、糾偏功率120VA
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86-10-64380505

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