復合式影像測量儀是在影像測量儀的基礎上增加了高的英國ReniShaw探頭，配合Gager復合版測量軟件，軟件可在影像和探針間自由切換。除了具備影像測量儀的測量功能外，還可以完成復雜件的深度、側面孔位、斜面、內孔錐度和相對高度的直接測量。對復雜件的曲面特征，測量生產的點云文件可以直接轉入逆向工程軟件做進一步處理。
其他說明
| 機臺型號 | XY-S3020C | CCD | 1/3"高清晰彩色CCD |
| 操作方式 | 手動/快速移動 | 放大倍率 | 光學倍率0.7X-4.5X,放大倍率38X-240X |
| 工作行程(mm) | 300*200 | 載物臺尺寸(mm) | 360*240 |
| Z軸行程(mm) | 200 | 工作臺尺寸(mm) | 510*370 |
| 光柵尺分辨率(um) | 1.0 | 外形尺寸(mm) | 750*550*860 |
| 重復(um) | =<2.5 | 承載重量(kg) | 50 |
| 測頭系統 | 英國ReniShaw輕接觸式測頭 | 測針 | 標配 1 , 2 探針各一枚(可選配多達100多種探針) |
