專為300mm晶圓和光罩檢測
利用更高的分辨率,對比度和CFI60光學系統
更高的亮度比傳統的顯微鏡
新光源和四次美好的照明,的光學設計結果
預中心的燈箱提供更高的亮度,同時消耗一半的電力,并減少熱致離焦
電動物鏡轉換器比傳統模式更耐用三倍
應用
晶圓
液晶顯示器
是針對半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、冶金工業需求而開發的。作為金相顯微鏡用戶在使用時能夠體驗其強性能,可廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密模具的檢測,可觀察較厚的標本。
兩種機型可供選擇
L300N:Episcopic照明類型
樣品尺寸:300mm晶圓
階段行程:354 x302毫米
放大倍率范圍:15X-2000X(目鏡和目標而定)
L300ND:/Episcopic照明類型
樣品尺寸:17英寸平板顯示器(FPD)
階段行程:354 x302毫米(照明范圍:354 x268毫米)
放大倍率范圍:15X-2000X(目鏡和目標而定)
觀察方法:明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光
(用于L300N/L300ND/L200ND)
照明部 — 12W50W高亮度鹵素燈
照明裝置
內置孔徑光闌
內置LWD聚光器
接口 Ux1,RS232C(用于Intensilight)x1
鏡筒 L2-TTA視場正立調傾式三目鏡筒(視角0~30°)
視場數25、光分光100:0/0:100
L2-TT2A視場正立調傾式三目鏡筒(俯角0~30°)
視場數25、光分光100:0/20:80
LV-T13正立三目鏡筒
視場數25、光分光100:0/0:100
目鏡 CFI目鏡
物鏡 CFI60系列物鏡
載物臺 14x12載物臺、行程354mmx302mm
(觀察范圍:354mmx268mm)
帶粗/微動切換功能
微動手輪位置固定
靜電
功能 從1000到10V放電時間在0.2秒以內
耗電 1.2A/90W
尺寸 約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時)
備注:如需更詳細產品參數請聯系廣東省東莞市東榕實業有限公司(尼康中國特約代理商)







