勻膠機(jī) Spin Coater 品牌:MIDAS
MIDAS為勻膠機(jī)(又稱為旋涂儀、甩膠機(jī)、Spin Coater等)的國際品牌，目前用戶過1800臺(tái)，在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù)，是行業(yè)。
技術(shù)規(guī)格：
儀器特點(diǎn)：
1） 桌上型勻膠機(jī)，涂膜厚度范圍：100nm~100um；
2） 可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的溶液、水溶液；
3） 緊湊型設(shè)計(jì)，用戶編輯、控制、存儲(chǔ)、取出涂膠程序，易于操作；
4） 加速及減速速率基于設(shè)定的時(shí)間/轉(zhuǎn)速(Ramp Time/RPM value)自動(dòng)計(jì)算；
5） 用戶通過勻膠機(jī)前面板顯示屏和按鈕進(jìn)行編輯、控制、存儲(chǔ)、取出涂膠程序，并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作。
儀器介紹：
勻膠機(jī)有許多名稱：甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等,主要應(yīng)用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作。其工作原理是旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
| 項(xiàng)目 Item | 技術(shù)規(guī)格 Specification |
| 時(shí)間 Time | 1~999秒，可調(diào)節(jié) |
| 基底尺寸 Substrate Size | ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸 |
| 卡盤旋轉(zhuǎn)速度 Chuck Rotation Speed | 300~8000 rpm，直流伺服馬達(dá)/交流伺服馬達(dá) |
| 勻膠狀態(tài) Spin State | 50步，20個(gè)方案控制(數(shù)字程序編輯) |
| 碗腔尺寸 Bowl Size | 8英寸，鋁(經(jīng)陽氧化工藝)/12英寸，SUS |
| 增/減速率 Accele/deceleration Rates | 可調(diào)節(jié) |
| 真空卡盤 Vacuum Chuck | 鋁(陽氧化)，乙縮醛(Acetal) |
| 電源 Electrical Power | 220V, 5A |
| 無油真空壓力泵 Oilless Vacuum Pump | - 650 mmHg |
| 尺寸(mm) Dimension | 230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280 |
