一、主要技術指標
1、X1軸
1.1 測量范圍：100mm
1.2 分辨率：0.5μm
1.3 檢測方法：莫爾光柵
1.4 驅動速度：0.1, 0.2, 0.5, 1mm/S
1.5 測量方向：向后
1.6 直線度：2.5μm/50mm
1.7 指示：±（4+2L/100）μm
2、Z1軸
2.1 測量范圍：12mm
2.2 分辨率：0.4μm
2.3 檢測方法：莫爾光柵
2.4 指示：±（3.5+|4H|/12）μm
2.5 測針方向：向下
2.6 測針抬起：自動
2.7 測針接觸：自接觸
2.8 測針針尖：25μm硬質合金針尖
3、Z立柱
3.1 行程：280mm
3.2 方式：電動
4、夾具
4.1 綜合平臺：Y向調整、轉角調整
4.2 平口鉗：4寸正弦
5、測臂
5.1 長度：200mm
5.2 直徑：8mm
6、測針
6.1 類型：單切面
6.2 長度：20mm
6.3 直徑：2mm
