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真空系統(tǒng): 機(jī)械泵Oil pump/Dry pump + 渦輪分子泵/低溫泵/電磁泵
離子: DC / RF
均勻性:100 mm襯底 +/- 4%, 刻蝕速率降低均勻性+/-2%
襯底尺寸:4英寸襯底(4-12英寸可選),水冷。
終端檢測(cè)系統(tǒng):SIMS 或激光干涉儀。
控制方式:全自動(dòng)電腦控制,半自動(dòng)或手動(dòng)控制可選。
詳細(xì)信息和資料,請(qǐng)聯(lián)系我們!


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021-50477207 15502170017
肖天宇先生(聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)說明是在維庫儀器儀表網(wǎng)看到的,謝謝)
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